• 2021-07-01 23:00:51
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  • 7 月 1 日音讯无忧印务 据国家智能传感器立异中心音讯,6 月 30 日, 由国家智能传感器立异中心建造的国内首条 12 英寸先进传感器中试线成功通线 。

    据介绍,该中试线以国产设备为主,具有晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相堆积、原子层堆积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级 3D 集成技能的中心工艺才能,一起为国产配备供给验证渠道,加快先进传感器产业链国产化,完成自主可控。

    据了解到,国家智能传感器立异中心表明,将在 12 英寸中试线继续开发新材料、新工艺、新器材和新集成等要害共性技能,要点打破光学、声学、力学、生物等先进传感器的中心工艺,并推进相关产品及使用的产业化。

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